Produktbeskrivning
Hjärtat av renrumstillverkning,Halvledarvakuumpumparär precision-konstruerade för att uppfylla de exceptionellt stränga kraven för tillverkning av mikroelektronik. Dessa pumpar är designade för att ge en perfekt ren, stabil och vibrationsfri -vakuummiljö, vilket är helt avgörande för processer där även mikroskopisk kontaminering kan leda till katastrofala produktfel.produktanvänder universellt olje-fria och korrosionsbeständiga-konstruktioner, ofta med specialmaterial som tål aggressiva processgaser. De uppnår de nödvändiga höga vakuumnivåerna, vanligtvis ner till 0,001 Pascal, med justerbara flödeshastigheter och är konstruerade för att uppvisa extremt låga vibrationsprofiler för att förhindra skador på känsliga nanostrukturer.
Deras modulära designfilosofi möjliggör enkel integration i komplexa verktygsuppsättningar och underlättar service, vilket är avgörande för att minimera kostsamma verktygsstillestånd. Den primära tillämpningen avHalvledarvakuumpumparär, som namnet antyder, i halvledarindustrin, där de används i praktiskt taget varje steg av chipproduktion, från etsning och deponering till jonimplantation och litografi. De är också viktiga inom relaterade områden som elektronisk förpackning och tillverkning av fotovoltaiska celler. Utöver elektroniken används dessa pumpar i gummi- och plastmaskiner för bearbetning av hög-rena halvledarmaterial-. Inom livsmedelsförpackningar hjälper de till med att utveckla specialiserade förpackningar för känsliga elektroniska komponenter. Inom dedikerade vakuumbeläggningssystem,produktär viktiga för att utföra beläggningsprocesser av-halvledarkvalitet som kräver ultimat renhet och tillförlitlighet. När framgången för din process beror på ett obefläckat och orubbligt vakuum,Halvledarvakuumpumparär den definitiva och pålitliga lösningen.
|
Grundläggande parametrar |
typNumber |
||||
|
DLT.LG180 |
DLT.LG360 |
DLT.LG630 |
DLT.LG800 |
DLT.LG1100 |
|
|
Pumphastighet, m3/h |
143 |
354 |
625 |
780 |
994 |
|
Yttersta trycket, Pa |
2 |
2 |
1 |
1 |
1 |
|
Rotationshastighet, r/min |
2900 |
2900 |
2900 |
2900 |
2900 |
|
Brus Lp, dB(A) |
82 |
83 |
83 |
84 |
85 |
|
Maximal vattenförbrukning, L/min |
8 |
15 |
25 |
35 |
45 |
|
Inloppsdiameter, mm |
50 |
50 |
65 |
100 |
100 |
|
Avgasportens diameter, mm |
40 |
40 |
50 |
80 |
80 |
|
Motoreffekt, kW |
4 |
7.5 |
15 |
18.5 |
22 |
|
Pumphuvudets vikt, kg |
245 |
350 |
550 |
630 |
780 |
Populära Taggar: halvledarvakuumpumpar, tillverkare, leverantörer, fabriker av halvledarvakuumpumpar i Kina
